ASML — công ty Hà Lan gần như độc quyền công nghệ máy quang khắc tiên tiến nhất thế giới — cho biết những con chip đầu tiên được sản xuất bằng hệ thống High-NA EUV sẽ xuất hiện chỉ trong vài tháng tới. Đây được xem là bước chuyển quan trọng nhất của ngành chip kể từ khi EUV thương mại hóa thành công cách đây gần một thập kỷ.
Phát biểu tại hội nghị công nghệ do imec tổ chức ở Antwerp, CEO ASML Christophe Fouquet cho biết các sản phẩm đầu tiên sử dụng High-NA sẽ xuất hiện trong cả chip logic lẫn bộ nhớ. Theo ông, công nghệ mới sẽ giúp giảm đáng kể chi phí patterning — quá trình tạo cấu trúc vi mạch cực nhỏ trên wafer silicon — vốn đang trở thành nút thắt lớn nhất của ngành bán dẫn tiên tiến.
Điều này đặc biệt quan trọng trong bối cảnh AI đang đẩy ngành chip tới giới hạn vật lý mới.
Trong nhiều năm, định luật Moore tiếp tục được duy trì nhờ việc thu nhỏ transistor và tối ưu tiến trình sản xuất. Nhưng khi ngành bán dẫn tiến xuống các node dưới 2nm, độ phức tạp của việc in mạch bán dẫn tăng theo cấp số nhân. Các chip AI hiện đại như GPU của Nvidia hay accelerator cho hyperscaler đòi hỏi mật độ transistor cực lớn, khiến quy trình lithography trở thành yếu tố quyết định năng lực cạnh tranh toàn ngành.
High-NA EUV chính là lời giải mà ASML đặt cược để kéo dài kỷ nguyên scaling thêm nhiều năm nữa.
Khác với EUV hiện tại, hệ thống High-NA sử dụng khẩu độ số cao hơn để tăng độ chính xác khi chiếu tia cực tím lên wafer silicon. Điều này cho phép tạo ra các cấu trúc transistor nhỏ hơn, sắc nét hơn và giảm số lớp patterning cần thiết trong quá trình sản xuất chip tiên tiến. Nói cách khác, High-NA không chỉ giúp chip mạnh hơn mà còn có thể giảm đáng kể chi phí sản xuất trong dài hạn.
Tuy nhiên, đây cũng là công nghệ cực kỳ đắt đỏ.
Mỗi máy High-NA hiện có giá lên tới khoảng 400 triệu USD — gần gấp đôi các hệ thống EUV trước đó. Chính điều này khiến TSMC, khách hàng lớn nhất của ASML, tỏ ra khá thận trọng. Hãng sản xuất chip Đài Loan gần đây cho biết High-NA hiện vẫn quá đắt để triển khai đại trà ở thời điểm hiện tại.
Nhưng ASML tin rằng ngành công nghiệp cuối cùng sẽ không có lựa chọn nào khác.
Khi AI tiếp tục bùng nổ, nhu cầu về transistor density và hiệu năng trên watt đang tăng nhanh hơn khả năng cải thiện của các công nghệ hiện tại. Những GPU AI thế hệ mới đang trở nên lớn và phức tạp tới mức các kỹ thuật lithography cũ dần chạm trần hiệu quả kinh tế. Điều đó khiến High-NA trở thành bước tiến gần như bắt buộc nếu ngành bán dẫn muốn tiếp tục duy trì tốc độ phát triển compute cho AI.
Đây cũng là lý do Intel và SK hynix đang trở thành những công ty tiên phong triển khai High-NA sớm hơn phần còn lại của thị trường. Intel đặc biệt xem công nghệ này là “vũ khí chiến lược” trong nỗ lực lấy lại vị thế dẫn đầu tiến trình bán dẫn sau nhiều năm tụt lại phía sau TSMC.
Với Intel, High-NA không đơn thuần là nâng cấp công nghệ sản xuất, mà là cơ hội để tái định hình Intel Foundry trong cuộc cạnh tranh AI infrastructure toàn cầu. Nếu thành công, Intel có thể thu hẹp khoảng cách với TSMC ở các node tiên tiến và tạo lợi thế trong sản xuất chip AI thế hệ mới.
Trong khi đó, các hãng bộ nhớ như SK hynix cũng có động lực rất lớn để đẩy nhanh High-NA. AI boom đang khiến nhu cầu HBM memory tăng bùng nổ, và các thế hệ HBM tiếp theo sẽ yêu cầu mật độ transistor cũng như kỹ thuật sản xuất tinh vi hơn rất nhiều.
Điều đáng chú ý là sự xuất hiện của High-NA diễn ra đúng lúc AI đang tái định nghĩa toàn bộ chuỗi giá trị bán dẫn.
Trong giai đoạn đầu của AI boom, thị trường chủ yếu tập trung vào GPU và mô hình AI tạo sinh. Nhưng đến năm 2026, cuộc cạnh tranh đã dịch chuyển sâu xuống tầng hạ tầng sản xuất: ai có fab tiên tiến hơn, ai kiểm soát lithography, ai sở hữu advanced packaging và ai có khả năng mở rộng transistor density nhanh hơn.
Trong cuộc đua đó, ASML đang giữ vị trí gần như không thể thay thế.
Hiện không công ty nào ngoài ASML có khả năng sản xuất máy EUV tiên tiến. Điều đó khiến hãng Hà Lan trở thành một trong những doanh nghiệp chiến lược nhất của nền kinh tế AI toàn cầu. Mỗi bước tiến của ASML gần như quyết định tốc độ phát triển của toàn ngành bán dẫn trong nhiều năm tiếp theo.
Giới phân tích hiện xem High-NA như “nền móng vật lý” cho thế hệ AI hậu GPT-5 — nơi các mô hình AI sẽ yêu cầu compute lớn hơn rất nhiều so với hiện nay. Nếu EUV từng mở đường cho kỷ nguyên smartphone và cloud computing, thì High-NA có thể trở thành công nghệ nền cho kỷ nguyên AI hyperscale.
Tuy nhiên, thách thức lớn nhất vẫn là chi phí.
Khi một máy lithography có giá tương đương cả một nhà máy công nghiệp, ngành bán dẫn đang bước vào giai đoạn mà chỉ một số ít công ty và quốc gia đủ khả năng tham gia cuộc chơi tiên tiến nhất. Điều này có thể khiến chuỗi cung ứng chip toàn cầu ngày càng tập trung hơn quanh một nhóm hyperscaler và semiconductor giant sở hữu đủ vốn để đầu tư hàng chục tỷ USD cho mỗi thế hệ công nghệ mới.
Dù vậy, việc ASML chuẩn bị đưa những con chip High-NA đầu tiên ra thị trường cho thấy ngành bán dẫn vẫn chưa chạm giới hạn cuối cùng của scaling. Trong bối cảnh AI đang tạo ra nhu cầu compute chưa từng có trong lịch sử công nghệ, High-NA có thể trở thành công nghệ quyết định xem liệu ngành chip có tiếp tục duy trì tốc độ tiến hóa hiện tại hay không.