Công ty đã bị cấm bán các công cụ EUV cho Trung Quốc.
Litho là công cụ máy cái cho sản xuất EUV, lệnh cấm DUV sẽ ảnh hưởng nhiều hơn đến kế hoạch mở rộng ngành công nghiệp chip của Trung Quốc so với lệnh cấm của EUV.
Ngoài Yangtze Memory, tất cả các nhà sản xuất Trung Quốc đang sản xuất các thiết bị trên các nút quy trình cũ để phục vụ các thị trường như ô tô và công nghiệp.
Các quan chức thương mại Hoa Kỳ gần đây đã đến thăm chính phủ Hà Lan và ASML để thảo luận về lệnh cấm.
| |
Công nghệ in thạch bản cực tím (còn được gọi là EUV hoặc EUVL) là một công nghệ in thạch bản quang học sử dụng một loạt các bước sóng cực tím (EUV), trải rộng khoảng băng thông 2% FWHM khoảng 13,5 nm, để tạo ra một mẫu bằng cách cho bình quang phản xạ tiếp xúc với ánh sáng UV. được phản xạ trên một chất nền được bao phủ bởi chất cản quang. Nó được ứng dụng rộng rãi trong quá trình chế tạo thiết bị bán dẫn. |
|
Tính đến năm 2022, ASML Holding là công ty duy nhất sản xuất và bán hệ thống EUV để sản xuất chip, chủ yếu nhắm mục tiêu 5 nm. Tại Hội nghị Thiết bị Điện tử Quốc tế (IEDM) năm 2019, TSMC đã báo cáo việc sử dụng EUV cho 5 nm tiếp xúc, qua, đường kim loại và các lớp cắt, nơi các vết cắt có thể được áp dụng cho vây, cổng hoặc đường kim loại. [1] [2 ] Tại IEDM 2020, TSMC đã báo cáo bước sóng kim loại tối thiểu 5 nm của họ giảm 30% so với bước sóng 7 nm, [3] là 40 nm. [4] Về mặt thạch học, 5 nmcủa Samsung có quy tắc thiết kế tương tự như 7 nm, với bước kim loại tối thiểu là 36 nm. |