Các nguồn tin cho biết công ty đã mua 5 máy lắng đọng Mo từ Lam Research để thực hiện quy trình này.
Họ cho biết gã khổng lồ công nghệ Hàn Quốc đang có kế hoạch mua thêm 20 chiếc vào năm tới.
Tiền chất Mo ở dạng rắn, trái ngược với vonfram florua (WF6), cần có những máy móc này để làm nóng chúng lên đến 600 độ C để chuyển chúng thành khí.
Trong quá trình sản xuất V-NAND Gen 9 của Samsung, có một ứng dụng sử dụng vonfram và một ứng dụng khác sử dụng Mo. Công ty đang sử dụng Mo thay vì vonfram trong cấu trúc oxit-nitrit-oxit.
Mo được sử dụng để cải thiện điện trở suất bên trong các bóng bán dẫn, cho phép xếp chồng nhiều lớp hơn trong NAND.
Ngành công nghiệp này đã đạt đến giới hạn của việc sử dụng vonfram để hạ thấp độ cao của các lớp, thay vào đó, sử dụng Mo có thể giảm thêm 30% đến 40%. Sử dụng Mo cũng làm giảm độ trễ của NAND.
Quyết định sử dụng Mo của Samsung có nghĩa là chuỗi giá trị vật liệu NAND sẽ trải qua một số thay đổi.
Họ đang mua Mo từ Entegris và Air Liquide trong khi Merck cũng đã giao một mẫu cho nhà sản xuất chip.
Ngoài Samsung, SK Hynix, Micron và Kioxia cũng đang tìm cách áp dụng Mo trong quá trình sản xuất NAND của họ.
Điều này có nghĩa là thị trường WF6 chắc chắn sẽ thu hẹp lại. Mo có giá gấp mười lần WF6. Các công ty vật liệu bán dẫn trong nước SK Trichem, Hansol Chemical, Oceanbridge và các công ty khác cũng đang phát triển Mo vì điều này.
Trong khi đó, bên cạnh NAND, tiền thân Mo cũng được cho là sẽ được sử dụng trong DRAM và chip logic.